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- 2023-06-02 发布于四川
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描述了用于收集从暴露于电子束的样品发射的上游和下游透射电子显微镜(TEM)阴极发光(CL)的装置。第一光纤线缆承载从第一TEM样品表面发射的进入摄谱仪中的第一CL光。第二光纤线缆承载从第二TEM样品表面发射的进入摄谱仪中的第二CL光。第一和第二光纤线缆被定位成使得摄谱仪产生用于第一光纤线缆的第一光谱和用于第二光纤线缆的分离的光谱。所描述的实施例允许以允许使用成像摄谱仪分别和同时地分析上游和下游TEMCL信号的方式收集TEMCL数据。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115803843 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202180033537.6 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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