一种蓝色激光加工远心F-Theta扫描透镜.pdfVIP

下载本文档

6
0
约6.65千字
约 7页
2023-06-02 发布于四川
举报
版权申诉

一种蓝色激光加工远心F-Theta扫描透镜.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开一种蓝色激光加工用远心F‑Theta扫描透镜。从激光入射方向开始，包括具有焦距f1的第一透镜L1、具有焦距f2的第二透镜L2、具有焦距f3的第三透镜L3、具有焦距f4的第四透镜L4、具有焦距f5的第五透镜L5、具有焦距f6的第六透镜L6，物镜总焦距为f。本发明首次提供一种蓝色激光，特别是450nm激光加工远心扫描镜头，具有短波、短焦、大通光孔径特点，整个加工面光斑大小达到衍射极限。本发明使用6片镜片结构，在保证性能的情况下易于加工，且成本合理。本发明F‑Theta镜头可用于蓝色激光加工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112578538 B (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202011627630.3 US 2019154993 A1,2019.05.23 (