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2023电子厂房洁净室气流组织技术规范.docx

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    电子厂房洁净室气流组织技术规范 PAGE PAGE 10 目 录 总 则 4 术 语 5 气流组织设计要求 7 3. 1 洁净室气流组织设计 7 3.2 洁净室气流组织设计验证 9 3 洁净室气流组织设计分析 10 气流组织检测及验收要求 11 1 一 般 要 求 11 4. 2 洁净室气流组织检测要求 11 3 洁净室气流组织验收要求 13 气流组织运行维护要求 14 1 一 般 要 求 14 5. 2 洁净室气流组织调整 14 本标准用词说明 16 引用标准名录 17 附录 A 电子厂房洁净室气流组织检测条件要求 18

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