一种具有柔性连接结构的电热MEMS微动平台.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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一种具有柔性连接结构的电热MEMS微动平台.pdf

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本发明公开了一种具有柔性连接结构的电热MEMS微动平台，包括引线电极、衬底、两种或多种材料层结构的电热驱动臂、可动结构、衬底端连接结构和可动端连接结构；所述电热驱动臂的一端通过衬底端连接结构连接到衬底，另一端通过所述可动端连接结构连接到所述可动结构；所述衬底端连接结构和/或所述可动端连接结构为柔性连接结构；所述柔性连接结构主要由有机聚合物材料构成；所述电热驱动臂中包含内置电阻；所述衬底端连接结构包含导电引线，将所述内置电阻与所述衬底上的引线电极相连；所述可动结构可以是一个微平台、一个透镜、一个反

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112645274 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011467858.0 (22)申请日 2020.12.14 (71)申请人北京理工大学地址