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检测生产设备和表面上的纳米粒子.pdfVIP

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    本文提供了一种粒子分析器，该粒子分析器可操作地连接到探针单元，该探针单元能够从表面驱逐粒子并且在粒子已经被驱逐之后对粒子进行采样。本文所述的装置和方法例如可以是轻型和/或手持的，使得它们可以在洁净室环境内使用，以清洁和采样永久表面和工具。装置可包括光学粒子计数器，使用散射的、遮挡的或发射的光来检测粒子，包括凝结粒子计数系统或分裂检测光学粒子计数器，以提高装置的灵敏度，从而便于检测较小的粒子，同时避免检测纳米级粒子(诸如有效直径小于100nm的粒子)通常所需的增加的复杂性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112639444 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 201980057666.1 (74)专利代理机构 北京汇思诚业知识产权代理

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