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可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置与扫描方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置与扫描方法.pdf

    本发明提供一种可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置与扫描方法，包括：激光源、准直透镜组、扩束透镜组、微透镜阵列，具有N*N阵列式排布的微透镜光学单元，用于对扩束后的光束进行匀化处理，形成均匀的光强分布输出，将光斑能量变为平顶分布；扫描振镜系统；以及场镜系统；其中，准直透镜组安装在可沿着光轴方向前后移动的移动平台上，通过移动平台的前后移动改变激光焦点位置的光斑大小；激光焦点处于扩束透镜组及微透镜阵列的入射焦点正中央位置。本发明的激光扫描装置与扫描方法，提供稳定且激光焦点位置光斑大小及形貌

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112630984 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011614625.9 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人 南京理工大学 地址

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