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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明提供一种多通道荧光光纤温度变送器及测温方法，解决现有对等离子体刻蚀机静电吸盘的测温方式，存在测量误差大、精度低的问题。方法包括步骤：1)M个光源发生器进行第1次发光激发；2)关闭M个光源发生器，M个测温单元光传感器进行第i次激发光的信号采样，i＝1，数据处理单元对光传感器获得的采样值处理，获得M个第i次温度数据；3)M个光源发生器进行第i+1次发光激发；4)关闭M个光源发生器，M个测温单元的光传感器进行第i+1次激发光的信号采样，数据处理单元对光传感器获得的采样值处理，获得M个第i+1次温
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112629699 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011611445.5
(22)申请日 2020.12.30
(71)申请人 西安和其光电科技股份有限公司
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