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本申请的力流变抛光液温度调控系统，包括抛光槽，抛光槽至少包括槽底和槽外圈；槽底的内部呈中空状形成A流体腔，槽外圈的内部呈中空状形成B流体腔；A循环水出口和B循环水出口经管路与循环调温装置的入口连通，对应的，A循环水进口和B循环水进口经管路与循环调温装置的出口连通，从而形成循环回路；循环回路中具有液体热交换介质，循环调温装置可使循环回路中的液体热交换介质循环流动并在流经循环调温装置时与外部热交换介质进行热交换。该系统可以在抛光过程中对抛光槽中抛光液的温度进行调控，使抛光液的温度维持在符合工艺要求的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112629124 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011469499.2
(22)申请日 2020.12.14
(71)申请人 新昌
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