一种基于相变材料的开关式的光波导器件及制作方法.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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一种基于相变材料的开关式的光波导器件及制作方法.pdf

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本发明公开了一种基于相变材料的开关式的光波导器件，包括光栅结构、光学薄膜增强层、脊结构、薄膜结构与衬底结构，所述衬底结构上设置有薄膜结构，所述薄膜结构上面中部设置有脊结构，所述脊结构设置有光学薄膜增强层，所述光学薄膜增强层上设置有光栅结构，所述光波导器件的一端面由模式波入射，经过波导后，在光波导器件的另一端面出射波。通过上述方式，本发明能够通过将该材料覆盖至硅波导上形成复合波导结构，切换相变材料的相态就可以切换不同状态的光信号传播，即实现了利用一种结构同时具有时分和波分复用的功能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112649999 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011575703.9 (22)申请日 2020.12.28 (71)申请人上海交大平湖智能光电研究院