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- 2023-06-03 发布于四川
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本申请提出一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构均设置于蒸镀腔体内，控制机构设置于控制件腔体内，所述驱动机构包括马达和抽真空泵组，蒸镀腔体的一侧面设有主阀腔，主阀腔的下部设有与主阀腔通过真空管连通的抽真空泵组，抽真空泵组位于蒸镀机本体外部的支架上，蒸镀腔体为中空的圆柱体或者为中空的椭圆柱体，镀锅结构的伞架有3个，设置在蒸镀腔
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112626486 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011618412.3
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 苏州
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