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一种高分辨率光刻胶组合物及其应用.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种高分辨率光刻胶组合物及其应用.pdf

    本发明提出了一种高分辨率光刻胶组合物及其应用，包括如下质量份的原料组分：10‑30份酚醛树脂、1‑20份光敏增强树脂、1‑3份光敏剂和70‑100份有机溶剂。本发明所述光刻胶组合物通过加入光敏增强树脂来优化感光性能，从而使所述组合物具有更高分辨率，适用于触控屏、平板显示器、集成电路等多领域的微细加工。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112650023 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011536992.1 C08F 212/08 (2006.01)

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