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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明涉及半导体检测设备领域，具体涉及一种半导体检测设备连续扫描控制系统及检测方法，包括发送坐标序列至运动平台控制单元的用户端；对运动台的位置与速度进行控制的运动平台控制单元，运动平台控制单元还用于将采样开始信号及采样停止信号传输至扫描采样单元；承载待测晶圆的运动台；对运动台进行测距，并将测量的运动台位置信息反馈至运动平台控制单元的激光测距单元；进行扫描采样并将单帧图像传输至图像端的扫描采样单元，扫描采样单元还电性连接有至少一个偏转器；本发明将原来路径计算同步、运动同步、扫描同步和图像采集同步转
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115774027 A
(43)申请公布日 2023.03.10
(21)申请号 202310024085.6
(22)申请日 2023.01.09
(71)申请人 苏州矽视科技有限公司
地址 215
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