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抽真空装置、镀膜设备及电池生产系统.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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抽真空装置、镀膜设备及电池生产系统.pdf

    本发明涉及电池生产技术领域，提供一种抽真空装置、镀膜设备及电池生产系统，其中，抽真空装置包括真空泵、主抽管路和辅抽管路，主抽管路的第一端与真空泵相连接，第二端能够与气相沉积设备的工作腔室相连接，主抽管路上设有用于控制主抽管路的通断状态的第一控制阀；辅抽管路的两端均与主抽管路相连接，且辅抽管路的两端分别位于第一控制阀的两侧，辅抽管路包括第二控制阀和至少两条并联设置的支管路，任意两条支管路的内直径相异，且各条支管路的内直径均小于主抽管路的内直径，第二控制阀设置为能够可选择地控制至少一条支管路与主抽管

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115773219 A (43)申请公布日 2023.03.10 (21)申请号 202211528187.3 C23C 16/54 (2006.01) (22)申请日 2022.11.

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