芯片加工方法、芯片及激光器.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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本申请总体来说涉激光技术领域,具体而言,涉及一种芯片加工方法、芯片及激光器,芯片采用该芯片加工方法加工而成,激光器安装有该芯片,芯片加工方法包括:在衬底加工芯片层组,去除部分所述芯片层组形成波导区,通过生长方式加工覆盖层,将波导区的覆盖层加工成端面朝向芯片层组的波导条,将所述波导条朝向所述芯片层组的一侧部分去除,以在所述波导条与所述芯片层组之间形成间隙,加工波导包层,并去掉所述芯片层组及所述间隙对应的波导包层,波导条用于对芯片层组发出的激光进行整形,使出射激光的光斑接近圆形,提高激光器与光纤耦合

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112636176 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011614713.9 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人 芯思杰技术(深圳)股份有限公司

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