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真空泵及泵一体型的电源装置.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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真空泵及泵一体型的电源装置.pdf

    本发明提供一种真空泵及泵一体型的电源装置。当利用多个加热器对泵单元的加热对象部位进行加热时，使内置有加热器控制部的电源装置小型化。真空泵包括：泵单元(100)，包含泵马达(101)，并包含排出经吸入的气体的排气功能部、及至少两个直流加热器(51)、直流加热器(54)；以及泵一体型的电源装置，内置有泵控制部(201)、对泵控制部(201)供给电力的泵用电源(206)、对两个直流加热器(51)、直流加热器(54)进行控制的直流加热器控制部(203)、及对直流加热器控制部(203)供给电力的直流加热器

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112648202 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202011603363.6 (51)Int.Cl.

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