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- 2023-06-03 发布于四川
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本申请涉及一种集成电路内部缺陷检测方法、装置与系统，通过获取集成电路样品的声扫样品图像，对声扫样品图像进行分层处理，并从各层声扫样品图像中选定目标声扫样品图像，得到适用于后续预设缺陷识别模型进行缺陷检测的声扫样品图像，进而通过基于YOLOX模型构建得到预设缺陷识别模型，对分层处理后的目标声扫样品图像进行缺陷检测，获得缺陷检测结果，得到集成电路样品的缺陷信息，实现了集成电路样品内部缺陷的自动检测识别，相较于人工检验的方式，检测精准度大幅度提升。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115774055 A
(43)申请公布日 2023.03.10
(21)申请号 202310094552.2
(22)申请日 2023.02.10
(71)申请人 中国电子产品可靠性
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