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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明涉及导电薄膜技术领域，尤其涉及一种导电ZnO薄膜及其制备方法。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：将醋酸锌、乙醇胺和二甲氧基乙醇混合，得到醋酸锌前驱体溶胶；将醋酸锌前驱体溶胶在透明基板上成膜，得到醋酸锌凝胶膜；将醋酸锌凝胶膜进行热处理，得到第一层ZnO薄膜；重复所述成膜和热处理的过程1～5次，得到多层堆叠的ZnO薄膜；将所述多层堆叠的ZnO薄膜进行紫外光辐照，得到导电ZnO薄膜。根据实施例的记载，利用本发明所述的制备方法制备得到的导电ZnO薄膜的电阻率与AZO有相当接近的电阻率，同时在红外
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112645606 B
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202011550052.8 (56)对比文件
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