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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明提供一种多层膜声表面波谐振器及其制造方法。该谐振器包括：由高声速材料的衬底层、底部SiO2温度补偿层、和LiTaO3压电薄膜组成的POI结构；位于压电薄膜之上的电极；及位于电极之上的SiO2顶部温度补偿层。其制造方法包括：在LiTaO3晶片压电层的一面注入He+离子形成剥离层，加热并沿剥离层剥离部分压电层进行减薄和抛光后获得压电薄膜；在SiC衬底上沉积SiO2形成底部温度补偿层；将压电薄膜的一面与底部温度补偿层进行低温键合；在压电薄膜的另面上沉积一层电极；在电极上沉积SiO2形成顶部温度补
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112653415 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011567491.X
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 广东广纳芯科技有
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