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实施例的蒸镀用掩模包括用于形成蒸镀图案的蒸镀区域和除蒸镀区域以外的非蒸镀区域,所述蒸镀区域包括沿长度方向隔开的多个有效部和除有效部以外的非有效部,所述有效部包括:多个小表面孔,形成在一表面上;多个大表面孔,形成在与所述一表面相反的另一表面上;通孔,连通所述小表面孔和所述大表面孔;以及岛部,位于多个所述通孔之间,所述非有效部包括彼此隔开的多个第一槽,所述第一槽彼此隔开配置,所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的10%~60%。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112640152 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980057661.9 (74)专利代理机构 北京鸿元知识产权代理有限
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