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制造CEM器件的方法.pdfVIP

制造CEM器件的方法.pdf

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    一种制造相关电子材料器件的方法，该方法包括形成导电衬底并在导电衬底上形成相关电子材料层，其中，形成相关电子材料层包括：形成富含金属的过渡金属化合物层或其他金属化合物层；以及在包含气态前驱体的气氛中对富含金属的过渡金属化合物层或其他金属化合物层进行退火，该气态前驱体用于电子回捐外源配体，该电子回捐外源配体能占据过渡金属化合物或其他金属化合物中的阴离子空位；其中，退火使得过渡金属化合物或其他金属化合物内的阴离子空位被电子回捐外源配体占据；并且其中，退火在预定温度被进行预定时间，从而激活从过渡金属阳离

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112640139 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 201980058328.X 卢西安 ·希夫伦　 (22)申请日 2019.0

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