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本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备(200)包括：获取部(210)，用于从干涉测量设备获取基于具有多个不同波长的光的多个干涉图像；去除部(230)，用于通过去除多个干涉图像中的各像素的干涉信号中所包含的非干涉分量来输出干涉分量；转换部(240)，用于通过对干涉分量进行希尔伯特变换来生成分析信号；以及计算部(250)，用于基于干涉分量和分析信号，通过指定照射到参考面(132)和测量对象物体(10)的表面上的光的波长的相位梯度，来计算参考面(132)和测量对象物体(
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112629433 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011033769.5
(22)申请日 2020.09.27
(30)优先权数据
2019-1853
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