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本发明提供一种联合检测装置及硅片智能分选机，其中，联合检测装置包括：检测流线以及沿检测流线设置的多个检测模组；所述检测流线由多个流线单元依次排列组成，所述多个检测模组包括：左右崩边模组、厚度检测模组、电阻率测试模组、前后崩模组、尺寸检测模组、脏污检测模组、倒角崩边模组以及隐裂检测模组中的部分或者全部。本发明的联合检测装置能够集成连续完成硅片多个项目的检测，充分满足硅片的实际检测需求，显著提高了硅片的质量检测效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112642731 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011402228.5 B07C 5/10 (2006.01)
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