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一种MEMS电感式压力传感器及其制备方法.pdfVIP

一种MEMS电感式压力传感器及其制备方法.pdf

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    本发明提出一种MEMS电感式压力传感器及其制备方法，该压力传感器包括：堆叠的第一衬底和第二衬底；压力敏感膜，设置在所述第一衬底的上表面；第一凹槽，设置在所述第一衬底的下表面，与所述压力敏感膜相对；铁磁芯，设置在所述压力敏感膜的下表面，位于所述第一凹槽中；第二凹槽，设置在所述第二衬底的上表面，与所述第一凹槽形成真空腔；第三凹槽，环绕并间隔所述第二凹槽设置在所述第二衬底的下表面；电感线圈层，设置在所述第二衬底的下表面。该传感器结构简单、线性度优、灵敏度高、温漂小、应用场景宽。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112683428 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202011341948.5 (56)对比文件

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