抗振动移相干涉测量算法与实验研究.docx

抗振动移相干涉测量算法与实验研究 该文献综述了抗振动移相干涉测量算法及其实验研究，以下是具体内容： 一、引言 随着科学技术的迅猛发展，精密测量已经成为了许多领域中不可或缺的手段，而移相干涉测量技术作为其中一种高精度测量手段，已被广泛应用于微细结构形貌的表征、微小位移及形变测量等方面。然而，环境因素如机械振动等对该测量方法的影响不可忽视，因此需要对抗频率噪声，提高测量精度与稳定性。因此，本文主要介绍抗振动移相干涉测量算法及其实验研究。 二、移相干涉测量基本原理 移相干涉测量技术是利用频率稳定的激光器或球形波导进行宽带非相位反转涂层分析体系的原理，其步骤如下： 1. 激光器或球形波导在非相位反转涂层下形成干涉图案； 2. 光电探测器收集干涉图案； 3. 干涉图案通过扫描操作，形成相位信号； 4. 相位差的计算和表征。 该测量方法仅需非侵入式感测，具有无接触、便捷、高分辨等优点，因此在机械制造、光学测试、生物测量等领域得到了广泛应用。 三、抗振动干扰移相干涉测量算法 1. 移相对准法 在开展移相干涉测量前，可先选取一组基准位置，利用相位量测法检测出屏幕的整体移动，再根据对准法，将基准位置作为运动的参考，从而提高测量精度。 2. 趋势曲线法 在移动相位之前，先将干涉图案进行傅里叶变换，通过趋势曲线法修正低频信号，提高傅里叶频谱的参照频率，从而提高振动抗干扰能力。 3. 功率谱平滑法 在提取