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验证扫描透射电镜分辨率的标样及其制备方法、验证方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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验证扫描透射电镜分辨率的标样及其制备方法、验证方法.pdf

    本发明实施例公开了一种验证扫描透射电镜分辨率的标样及其制备方法，所述方法包括：提供一表面为(100)晶面的硅基底，所述硅基底的所述表面具有目标区域；围绕所述目标区域，对所述硅基底进行切割，得到一包含所述目标区域的样品；对所述样品的所述目标区域进行加工，暴露出待扫描面，得到包含所述待扫描面的标样；其中，所述待扫描面为{112}晶面族中的晶面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112697827 B (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202011441298.1 CN 107703164 A,2018.02.16 (

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