炉管机台的分配控制方法、装置、电子设备及存储介质.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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炉管机台的分配控制方法、装置、电子设备及存储介质.pdf

本申请提供了炉管机台的分配控制方法、装置、电子设备及存储介质,包括:获取多个批次的待分配晶圆;基于多个批次的待分配晶圆的订单信息进行分组,确定出多个组别的待分配晶圆;当多个组别的待分配晶圆进入炉管机台的多个进站机台时,基于各个组别的待分配晶圆的优先级确定出第一组别的待分配晶圆,对第一组别的待分配晶圆进行分配;其中,第一组别的待分配晶圆的优先级为最高优先级;在完成第一组别的待分配晶圆的分配后,基于多个组别的待分配晶圆的优先级中的第二优先级,确定出第二组别的待分配晶圆进行分配,直至完成每个组别的待分

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116207013 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310226989.7 (22)申请日 2023.03.10 (71)申请人 上海赛美特软件科技有限公司 地址

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