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一种微透镜矢高测量装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种微透镜矢高测量装置及方法.pdf

    本发明提供一种微透镜矢高测量装置及方法，该装置中设有带标记图案的毛玻璃标记版，标记图案包括十字线和圆线，且十字线的交点与圆线的圆心重合。测量时先使标记图案投影到被测微透镜元件的基准平面上，此时Z向位置为Z1；再先后调节被测微透镜元件的XY角度及XY位置，使十字线成像均匀清晰，再使成像的圆线中心与被测微透镜元件外圆的中心重合；最后找到被测微透镜元件的曲面顶点反射的十字线清晰成像的Z向位置，记为Z2，则被测微透镜元件的矢高为|Z1‑Z2|。本发明通过十字线的成像清晰度和均匀性对被测微透镜元件进行对焦

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112697054 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 202011456032.4 (22)申请日 2020.12.10 (71)申请人 无锡鑫巨宏智能科技有限公司

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