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一种超结终端耐压器件.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种超结终端耐压器件.pdf

    本申请提供一种超结终端耐压器件，包括：有源区和漂移区，其中所述漂移区包括角终端和边终端；有源区等效PN主结区，设置于所述有源区和所述漂移区之间；多个杂质电荷补偿柱，每个所述杂质电荷补偿柱的全部或部分由所述有源区等效PN主结区向所述漂移区的角终端倾斜或折线延伸，各所述杂质电荷补偿柱相互平行且间隔设置。本申请通过在漂移区设置倾斜向角终端的杂质电荷补偿柱，可有效改善有源区边缘等效主PN结边界曲率效应，结构简单，更便于工艺制作，可降低制作成本。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116207129 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310306813.2 (22)申请日 2023.03.27 (71)申请人 中国电子科技集团公司第二十四研

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