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一种具有碳化硅涂层的炭炭复合材料坩埚及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种具有碳化硅涂层的炭炭复合材料坩埚及制备方法.pdf

    本发明公开了一种具有碳化硅涂层的炭炭复合材料坩埚及制备方法，包括炭炭复合材料坩埚本体以及覆盖于炭炭复合材料坩埚内表面的碳化硅涂层，所述的碳化硅涂层由含硅溶液涂敷于坩埚内表面经高温热处理而制得。具体制备方法为：在炭炭复合材料坩埚本体的内表面进行含硅溶液的涂刷，所得含涂覆层的坩埚于湿度小于50RH％的环境下静置，再进行高温热处理即得具有碳化硅涂层的炭炭复合材料坩埚。本发明通过在坩埚内表面进行含硅溶液涂层处理和高温热处理得到碳化硅涂层，有效地改善了坩埚的表面状态，避免了高温下硅蒸汽、含硅气体及石英坩埚

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112694347 B (45)授权公告日 2022.06.07 (21)申请号 202011577306.5 C30B 15/10 (2006.01)

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