1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

铁电电容的电流退火结构及方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约9.51千字
  • 约 10页
  • 2023-06-04 发布于四川
  • 举报

铁电电容的电流退火结构及方法.pdf

    本公开提供一种铁电电容的电流退火结构，包括：顶电极金属层，其设置有延伸而出的两个顶电极PAD；底电极金属层，其设置有延伸而出的两个底电极PAD；铁电电容，设置于所述顶电极金属层和底电极金属层之间并与所述顶电极金属层和底电极金属层相贴合；通过对所述顶电极PAD施加电压脉冲使其流经顶电极金属层产生焦耳热，利用所述焦耳热对所述铁电电容退火。同时，本公开还提供一种利用以上所述的电流退火结构对铁电电容进行电流退火的方法，能够缓解现有技术中对铁电电容器件进行退火处理时退火温度高，退火时间长，无法实现对晶圆选

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116209277 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310263860.3 (22)申请日 2023.03.17 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 1

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >