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本发明公开了一种键合线表面的耐腐蚀抗氧化涂层及其制备方法与应用。所述耐腐蚀抗氧化涂层包括依次形成于键合导线表面的第一金属层、第二金属层及第三金属层；所述第一金属层、第二金属层以及第三金属层中的金属元素相同；所述第一金属层、第二金属层及第三金属层中的金属元素包括钯、铂、铬、镍中的任意一种或两种以上的组合。本发明摒弃了传统工艺先拉伸后涂覆涂层的工艺技术，制备的涂层能够与粗导线形成强结合，在导线后续拉伸加工成键合铜丝成品时无剥落，工艺简单，同时大大改善了键合线的耐腐蚀抗氧化性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112687649 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011560645.2
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研
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