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设置方法、检查方法、缺陷评估装置及结构体的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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设置方法、检查方法、缺陷评估装置及结构体的制造方法.pdf

    本发明提供一种设置方法。所述设置方法为了评估被检体的内部结构，将被检体的结构所在的区域中的至少一部分区域设置为对象区域，其包括：从被检体的结构所在的区域内设置任意位置；基于设置的位置设置对象区域。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109477804 A (43)申请公布日 2019.03.15 (21)申请号 20168

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