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一种长程表面等离子激元波导耦合器.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种长程表面等离子激元波导耦合器.pdf

    本发明公开了一种长程表面等离子激元波导耦合器，其特征是，包括顺序叠接的第一SiO2层、Ag层和第二SiO2层，所述第一SiO2层和第二SiO2层对称设置在Ag层的两面。这种耦合器能使入射光突破衍射极限，高效耦合进硅基光子器件中，能提高光纤与硅基光子器件之间的耦合效率，而且此种长程表面等离子激元波导耦合器结构简单，对于工艺要求低，易于加工，成本较低。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 106772817 A (43)申请公布日 2017.05.31 (21)申请号 20171

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