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一种白光干涉仪快速准焦方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种白光干涉仪快速准焦方法.pdf

    本发明公开一种白光干涉仪快速准焦方法，包括：粗准焦，步进电机沿靠近样品的正方向按第一精度步长移动，每次移动采集一张图片，根据能量梯度函数算法计算每张图片的清晰度，并记录最大清晰度值；细准焦，步进电机沿正方向按第二精度步长移动，根据能量梯度函数算法和改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值对应的位置；精准焦，压电陶瓷驱动器沿反方向按第三精度步长移动，根据改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值，经判断后确定准焦位置。本发明利用步进电机和压电陶瓷驱动器实现分级准焦，并补偿步进电机

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116202415 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310227216.0 (22)申请日 2023.03.10 (71)申请人 浙江大学 地址 310058

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