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在一个实施例中,一种半导体装置的形成方法包括在一排气管线的内部表面上形成疏水涂层、将所述排气管线连接至半导体制程腔体、将第一前驱物导入至半导体制程腔体中、将第二前驱物导入至半导体制程腔体中,其中第一前驱物与第二前驱物反应以产生氧化材料层、以及自半导体制程腔体以及经由所述排气管线泵抽第一前驱物及第二前驱物。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112680713 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011111250.4
(22)申请日 2020.10.16
(30)优先权数据
16/656,87
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