1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种垂直腔面发射激光器及其制备方法.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约8.91千字
  • 约 8页
  • 2023-06-04 发布于四川
  • 举报

一种垂直腔面发射激光器及其制备方法.pdf

    本发明涉及一种垂直腔面发射激光器及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：1)、在衬底(1)上生长二维六方氮化硼层(2)；2)、在二维六方氮化硼层(2)上溅射AlN层(3)；3)、在AlN层(3)上依次制作N型GaN层(4)、多量子阱层(5)、P型GaN层(6)和顶部DBR层(7)，形成外延结构；4)、使顶部DBR层(7)与铜衬底(8)相接触以将外延结构倒装键合在铜衬底(8)上；5)、将热释放胶带紧贴于衬底(1)上，将衬底(1)和二维六方氮化硼层(2)从AlN层(3)上剥离掉；6)、在AlN层(3

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116207615 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310074651.4 (22)申请日 2023.02.07 (71)申请人 江苏芯港半导体有限公司 地址 2

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >