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本发明提供一种晶圆片承载装置，具有：用于承载晶圆片的箱体、用于可抓取配合的基座、用于与检测机配合的安装座、以及与所述箱体配合的盖体；其中，所述基座和所述安装座分设于所示箱体外侧并对位设置；且所述基座和所述安装座均与所述晶圆片并行放置。本发明承载装置，尤其适用于大尺寸晶圆片的放置，结构强度高且晶圆片放置稳定，可以盖合晶圆片，降低碎片率；可以配合人工操作或机械手夹取操作，而且还可使晶圆片水平或立式放置，使用范围广，实用性强，保证晶圆片质量，提高生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112687600 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202110012359.0 (51)Int.Cl.
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