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本发明提供了一种面阵扫频测量装置和方法,属于激光测距技术领域,装置包括可调谐激光器、准直器、扩束器、相位阵列、透镜阵列、第一透镜、分束器、镜头、相机、采集控制单元和反射元件;可调谐激光器用于提供激光光束;相位阵列用于对扩束后的平行光相位调制;透镜阵列用于对每个相位阵列输出的光束聚焦;分束器用于将第一透镜输出的光束分为反射光和透射光;反射元件用于将透射光反射形成参考光;工作时被测物体反射反射光形成信号光;其中,信号光和参考光干涉形成干涉图案;相机用于采集干涉图像;采集控制单元用于根据干涉图像分析被
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112684460 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011517718.X
(22)申请日 2020.12.21
(71)申请人 武汉
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