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本发明属于石墨烯条带制备技术领域,公开了一种新型石墨烯纳米窄带的制备方法,所述新型石墨烯纳米窄带的制备方法包括以下步骤:将铝片作为阴极,铜箔作为阳极插入电解抛光液中进行电解抛光;氮气吹干后置于石英管中进行加热、退火,得到多孔铜箔;将石墨烯转移至铜箔上,将石墨烯进行光刻图形化得到图形化的石墨烯;将图形化的石墨烯置于反应器内进行低温生长;真空条件下冷至室温,进行氢气等离子体刻蚀处理,得到石墨烯纳米窄带成品。本发明通过利用氢气等离子体对石墨烯的各向异性刻蚀机制,最终得到的石墨烯条带具有以锯齿型边缘占主
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112661140 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011446581.3
(22)申请日 2020.12.11
(71)申请人 上海
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