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用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法.pdf

    本发明公开用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法，包括校准系统包括分选摆臂机构、推顶器机构和两组相机定位机构；相机定位机构包括相机固定支架、镜头组件、CCD相机组件和同轴光源组件。分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件，第一升降组件通过第一螺钉调节组件连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节组件连接有第二摆臂组件，第一摆臂组件的端部和第二摆臂组件的端部分别连接有第一分选吸嘴机构和第二分选吸嘴结构。本发明中的校准方法采用上述校准系统，实现了分

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112691924 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202011442981.7 H01L 21/67 (2006.01)

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