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- 2023-06-04 发布于四川
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本发明公开一种基于MEMS技术的无磁电加热器的加工方法，包括在单晶硅片或陶瓷、玻璃基底表面加工电阻层：进行光刻、显影，离子铣，旋涂光刻型聚酰亚胺薄膜。然后在已经加工完的基底表面的背面，重复上述工艺进行背面金属层的制备以及表面绝缘层加工。本发明能有效抵消通电过程中产生的磁场，解决了双层金属之间的电绝缘问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112694061 A
(43)申请公布日 2021.04.23
(21)申请号 202011443269.9
(22)申请日 2020.12.11
(71)申请人 北京自动化控制设备研究所
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