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- 2023-06-04 发布于四川
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本发明涉及一种TiN去除液。该去除液由氧化剂、pH缓冲剂、添加剂A、添加剂B和去离子水组成。氧化剂为H2O2，pH缓冲剂为有机酸及有机酸盐混合物，添加剂A为过硫酸盐，能够提高对TiN层的蚀刻速率，添加剂B为酚磺酸、醇类、金属掩蔽剂的混合物。其中TiN先被H2O2氧化成TiO2，再由水合氢离子将TiO2溶解。pH缓蚀剂通过调节溶液的pH，使其维持酸性环境，减缓了H2O2的分解，增强其稳定性，延长了蚀刻液寿命及对TiO2的溶解速率。添加剂A增强了TiN的蚀刻速率，使得TiN层能快速的去除，且没有残留
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115141629 A
(43)申请公布日 2022.10.04
(21)申请号 202210674335.6
(22)申请日 2022.06.15
(71)申请人 湖北兴福电子材料有限公司
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