针对重复率相关性能变量的在线校准.pdfVIP

针对重复率相关性能变量的在线校准.pdf

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公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112731770 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011588035.3 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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