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公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的,并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值,并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112731770 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011588035.3 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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