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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供能够实现维护性的提高的成膜装置。该成膜装置的特征在于，具备：靶单元(100)，设置在腔室内，具有靶(110)；端块(200)，具有靶单元(100)的旋转中心轴线方向的一端侧的轴承功能；以及支承块(300)，具有靶单元(100)的旋转中心轴线方向的另一端侧的轴承功能，用于使靶单元(100)旋转的驱动力从端块(200)内与靶单元(100)连接，供给于靶单元(100)的冷却液与施加于靶(110)的电压从支承块(300)内与靶单元(100)连接。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112746252 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202011190180.6
(22)申请日 2020.10.30
(30)优先权数据
2019-1992
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