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微机电系统及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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微机电系统及其制造方法.pdf

    本发明的实施例涉及一种微机电系统(MEMS)包括电路衬底，设置在电路衬底上方的第一MEMS结构以及设置在第一MEMS结构上方的第二MEMS结构。本发明的实施例还涉及制造微机电系统的方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112744779 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011194524.0 (22)申请日 2020.10.30 (30)优先权数据

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