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一种紧凑型多功能靶室装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种紧凑型多功能靶室装置.pdf

    本发明涉及一种紧凑型多功能靶室装置，包括靶室主体，所述靶室主体上设有用于抽真空的泵口，在靶室主体内沿束流入射方向的最前方设有束斑观测系统，所述束斑观测系统后方设置束流监测系统，所述束流监测系统的后方设置小样品快速换样系统，所述小样品快速换样系统的后方设置束流诊断系统，所述束流诊断系统的后方设置高低温控制系统。本发明可以用一个靶室准确方便的对离子束流进行诊断，进行样品辐照，对样品进行温度控制等操作，操作简便，节约了大量制作成本，实现了功能多样化。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115762845 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211444319.4 (22)申请日 2022.11.18 (71)申请人 中国原子能科学研究院 地址 102

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