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一种籽晶铺设方法、类单晶硅锭的制备方法和类单晶硅锭.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种籽晶铺设方法、类单晶硅锭的制备方法和类单晶硅锭.pdf

    本发明实施例提供了一种籽晶铺设方法，包括：提供坩埚，在所述坩埚的底部铺设籽晶层，所述籽晶层包括由若干块第一籽晶和第二籽晶拼接形成，其中，两两相邻的四块所述第一籽晶拼接的结构中部形成一镂空部，所述第二籽晶填充在所述镂空部内。由所述籽晶铺设方法铺设的籽晶层，在高温阶段能避免相邻籽晶块之间产生挤压应力，有利于减少晶体位错比例，提高硅锭的质量。本发明还提供了一种类单晶硅锭的制备方法和类单晶硅锭。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112746321 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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