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本发明提供一种ITO靶材晶粒粒度的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：(1)切割ITO靶材，得到待处理样品；(2)对所述待处理样品依次进行第一研磨抛光处理、第二研磨抛光处理和第三研磨抛光处理后，进行腐蚀处理，得到检测样品；所述腐蚀处理使用的腐蚀液包括硝酸和氢氟酸的混合溶液；(3)所述检测样品通过扫描电子显微镜检测晶粒粒度。本发明所述的检测方法实现了对非高纯金属靶材晶粒粒度的检测，检测方法操作简单，样品处理成本低，具有大规模工业化推广应用前景。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115753529 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211484102.6
(22)申请日 2022.11.24
(71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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