镜片底部气帘防护装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供一种镜片底部气帘防护装置,气体通过设置在镜片底部一定空间内的斜向出气口,向镜片出射并在距离镜片一定距离处相遇,以在镜片底部形成防护气帘,有效防止污染物接触镜片,提高镜片的成像质量。进一步的,本发明采用斜向送风的方式,使镜片底部形成的防护气体的流场更加稳定,长时间使用受环境波动的影响较小,降低了设备的维护频率,提高设备的可靠性。而且,本发明中气体在通孔的中心相遇后自上而下扩散,使装置有较大的供气量使用范围,相应减少现场调试时间,提高镜片底部环境的稳定性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112748641 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 201911056658.3 审查员 周勇 (22)申请日 2019.10.31

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