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基板剥离装置、基板处理装置以及基板剥离方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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基板剥离装置、基板处理装置以及基板剥离方法.pdf

    本发明涉及基板剥离装置、基板处理装置以及基板剥离方法。在将使用粘合部件保持于基板保持部件的基板从基板保持部件剥离时，良好地剥离基板。基板剥离装置使保持于基板保持部件(100)的基板(10)从基板保持部件(100)剥离，所述基板保持部件(100)具备：具有保持基板(10)的保持面(110X)的基体、以及具有利用粘合力粘贴于基板(10)的粘合垫(123)和对粘合垫(123)进行支承的轴部(121)的粘合单元(120)，其特征在于，所述基板剥离装置具有剥离机构，所述剥离机构通过对轴部(121)向包含与

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750745 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011178179.1 (22)申请日 2020.10.29 (30)优先权数据 2019-1967

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